直流叠加脉冲偏压电源
主要特点
1.具有单极性脉冲偏压电源的所有特点。
2. 直流和直流叠加脉冲模式下，消除了单极性脉冲间隙间离子能量很低的问题。
双极性脉冲偏压电源
主要特点
1. 负脉冲的作用同单极性脉冲偏压电源，正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子来中和工件表面的正电荷积累。因为电子的质量远小于离子，加速很容易，所以正脉冲的幅值远小于负脉冲幅值，通常为10～100V，正、负脉冲的电流积分应相等。所以正电源的功率比负电源的功率小很多。
2. 当正电源电压为零时，双极性脉冲偏压就变成单极性脉冲偏压。
